地球とともに With Earth

当社グループは、地球環境の保全が企業の社会的責任であることを認識し、環境負荷の低減と生物多様性への配慮を行い、持続可能な社会の実現に貢献する。

水資源の効率的な利用を目指して

水使用量の推移

近年、気候変動に伴う干ばつによる水不足や、洪水による浸水被害など「水」にまつわるさまざまな問題が起きています。半導体の製造工程では、エッチング・洗浄に使われる薬品の除去や装置の冷却など大量の純水が不可欠です。岡山工場では、水資源の有効利用を促進するため、ウエハ生産量原単位の削減目標を設定し、水使用量の削減に努めています。
2022年度は、生産量増加に伴い、水使用量は増加しましたが、ウエハ１枚当たりの使用量は削減となりました。
2024年度は、生産量の減少により総使用水量自体は減少したものの、原単位では前年度を上回る結果となりました。これは生産量の変動が原単位に与える影響を改めて認識する契機となり、今後の取り組み強化に向けた重要な示唆と受け止めています。
今後も、工程の見直しを通じて、水資源のさらなる効率化と環境負荷の低減を図り、持続可能な生産体制の構築に努めていきます。

排水量とCOD（化学的酸素要求量）負荷量推移

岡山工場では、製造工程から発生する廃水を自社の排水処理設備で適切に処理し、法規制よりも厳しい社内基準を満たしたうえで外部へ排出しています。有害物質の低減および除害処理に加え、除害が困難な物質については回収を徹底するなど、水質保全に向けた管理体制を強化しています。
また、排水水質の監視を確実に行うため、定期的な水質検査を実施し、継続的な改善とリスク管理に取り組んでいます。
2024年度は、生産量の減少に伴い、排水量およびCOD（化学的酸素要求量）負荷量のいずれも前年度より減少しましたが、今後も継続的な管理のもと、水環境への影響を最小限に抑える努力を続けていきます。

当社グループのエネルギー消費量の約8割を占める岡山工場が2013年度から“脱化石燃料”に取り組み、省エネルギーを達成したことが評価され、「2023 年度省エネ大賞」の省エネ事例部門において「省エネルギーセンター会長賞」を受賞しました。

取り組みの概要

クリーン度を要求される2棟の工場棟を改善しました。
2017年度から照明のLED化とエネルギーマネジメントシステムの導入を図り、B棟の外気処理空調システムの高効率化を図りました。この内容は、既存熱源機（冷水チラー・蒸気ボイラ）を高効率空冷ヒートポンプチラーに改修し、併せて変流量制御に改善。さらには外気予熱・再熱に生産設備の廃熱回収利用と、加湿制御におけるドライフォグシステムを採用し、最大の課題である蒸気加湿の撤廃に繋げました。B棟に引き続き、A棟の改修を終え、省エネルギーを達成しました。