地球とともに With Earth

当社グループは、地球環境の保全が企業の社会的責任であることを認識し、環境負荷の低減と生物多様性への配慮を行い、持続可能な社会の実現に貢献する。

水資源の効率的な利用を目指して

水使用量の推移

近年、気候変動に伴う干ばつによる水不足や、洪水による浸水被害など「水」にまつわるさまざまな問題が起きています。半導体の製造工程では、エッチング・洗浄に使われる薬品の除去や装置の冷却など大量の純水が不可欠です。岡山工場では、水資源の有効利用を促進するため、ウエハ生産量原単位の削減目標を設定し、水使用量の削減に努めています。
2022年度は、生産量増加に伴い、水使用量は増加しましたが、ウエハ１枚当たりの使用量は削減となりました。

排水量とCOD（化学的酸素要求量）負荷量推移

岡山工場では、製造工程からの廃水を排水処理設備で浄化し、法規制より厳しい社内基準値をクリアしたのちに排出しています。有害物質の低減および除害、除害できない有害物質の回収を実施し、定期的に水質検査を行うことで排水水質の監視を徹底しています。2023年度は前年と比べ排水量は減少しましたが、COD負荷量が増加したことが確認されました。岡山工場では、厳しい基準をクリアした廃水を排出していますが、COD負荷量が増加しました。要因としては生産量の増加や工程改善の遅れが考えられます。岡山工場は、環境への負荷を最小限に抑えるために引き続き努力していきます。

当社グループのエネルギー消費量の約8割を占める岡山工場が2013年度から“脱化石燃料”に取り組み、省エネルギーを達成したことが評価され、「2023 年度省エネ大賞」の省エネ事例部門において「省エネルギーセンター会長賞」を受賞しました。

取り組みの概要

クリーン度を要求される2棟の工場棟を改善しました。
2017年度から照明のLED化とエネルギーマネジメントシステムの導入を図り、B棟の外気処理空調システムの高効率化を図りました。この内容は、既存熱源機（冷水チラー・蒸気ボイラ）を高効率空冷ヒートポンプチラーに改修し、併せて変流量制御に改善。さらには外気予熱・再熱に生産設備の廃熱回収利用と、加湿制御におけるドライフォグシステムを採用し、最大の課題である蒸気加湿の撤廃に繋げました。B棟に引き続き、A棟の改修を終え、省エネルギーを達成しました。